留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

基于微纳米定位的电磁驱动控制系统设计与分析

史琦婧 朱姿娜 李培兴 吴迪

史琦婧, 朱姿娜, 李培兴, 吴迪. 基于微纳米定位的电磁驱动控制系统设计与分析[J]. 上海工程技术大学学报, 2021, 35(2): 150-157.
引用本文: 史琦婧, 朱姿娜, 李培兴, 吴迪. 基于微纳米定位的电磁驱动控制系统设计与分析[J]. 上海工程技术大学学报, 2021, 35(2): 150-157.
SHI Qijing, ZHU Zina, LI Peixing, WU Di. Design and analysis of electromagnetic driver control system based on micro nano positioning[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2021, 35(2): 150-157.
Citation: SHI Qijing, ZHU Zina, LI Peixing, WU Di. Design and analysis of electromagnetic driver control system based on micro nano positioning[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2021, 35(2): 150-157.

基于微纳米定位的电磁驱动控制系统设计与分析

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(51775165);上海工程技术大学研究生科研创新资助项目(20KY0106)
详细信息
    作者简介:

    史琦婧(1996−),女,在读硕士,研究方向为柔性抓手驱动控制. E-mail:shiqijing96@163.com

    通讯作者:

    朱姿娜(1987−),女,副教授,博士,研究方向为磁力耦合驱动、机构优化设计、机器人方向. E-mail:zhuzina@126.com

  • 中图分类号: TP273

Design and analysis of electromagnetic driver control system based on micro nano positioning

  • 摘要: 针对大行程电磁驱动微纳米定位技术控制精度较低的问题,根据电磁驱动装置的工作原理,提出优化PID的控制方案,并在Matlab软件中搭建控制系统的Simulink模型. 相较传统PID控制,对前馈PID和模糊PID算法的改进效果进行研究,得出前馈PID拥有较好的动、静态控制性能,模糊PID鲁棒性较佳的结论.
  • 图  1  电磁驱动装置结构图

    Figure  1.  Electromagnetic drive device structure drawing

    图  2  实际驱动系统图

    Figure  2.  Diagram of actual drive system

    图  3  传统PID控制系统原理框图

    Figure  3.  Principle block diagram of traditional PID control system

    图  4  前馈控制原理框图

    Figure  4.  Principle block diagram of feedforward control

    图  5  前馈PID控制结构框图

    Figure  5.  Structure block diagram of feedforward PID control

    图  6  模糊PID控制原理框图

    Figure  6.  Principle block diagram of fuzzy PID control

    图  7  模糊PID控制器结构框图

    Figure  7.  Structure block diagram of fuzzy PID controller

    图  8  电磁驱动装置等效电路图

    Figure  8.  Equivalent circuit diagram of electromagnetic drive device

    图  9  电磁驱动装置数学模型框图

    Figure  9.  Block diagram of mathematical model of electromagnetic drive device

    图  10  电磁驱动装置控制系统动态结构图

    Figure  10.  Dynamic structure diagram of control system of electromagnetic drive device

    图  11  电磁驱动装置控制系统仿真模型

    Figure  11.  Simulation model of control system of electromagnetic drive device

    图  12  Fuzzy PID Controller 子系统模块内部模型

    Figure  12.  Internal model of Fuzzy PID controller subsystem module

    图  13  3种控制算法的阶跃响应曲线及稳态误差

    Figure  13.  Step-response curves and steady-state errors of three control algorithms

    图  14  负载变化时的阶跃响应曲线

    Figure  14.  Step response curve when load changes

    表  1  模糊PID控制规则表

    Table  1.   Fuzzy PID control rules

    ec
    eNBNMNSZOPSPMPB
    NBPB / NB / PSPB / NB / NSPM / NM / NBPM / NM / NBPS / NS / NBZ / Z / NMZ / Z / PS
    NMPB / NB / PSPB / NB / NSPM / NM / NBPS / NS / NMPS / NS / NMZ / Z / NSNS / Z / Z
    NSPM / NB / ZPM / NM / NSPM / NS / NMPS / NS / NMZ / Z / NBNS / PS / NSNS / PS / Z
    ZOPM / NM / ZPM / NM / NSPS / NS / NSZ / Z / NSNS / PS / NSNM / PM / NSNM / PM / Z
    PSPS / NM / ZPS / NS / ZZ / Z / ZNS / PS / ZNM / PM / ZNM / PM / ZNM / PB / Z
    PMPS / Z / PBZ / Z / PSNS / PS / PSNM / PS / PSNM / PM / PSNM / PB / PSNB / PB / PB
    PBZ / Z / PBZ / Z / PMNS / PM / PMNM / PM / PMNM / PM / PSNM / PB / PSNB / PB / PB
    下载: 导出CSV

    表  2  电磁驱动装置主要性能参数

    Table  2.   Main performance parameters of electromagnetic drive device

    参数数值
    线圈电阻R / Ω8.3
    线圈电感La / mH2.5
    驱动器动子质量m / kg0.15
    阻尼系数K /(N•s•m−112.6
    驱动装置力常数KS14.1
    电磁时间常数Tl / ms0.3
    机电时间常数tm / ms6.26
    下载: 导出CSV
  • [1] GARCIA R, KNOLL A W, RIEDO E. Advanced scanning probe lithography[J] . Nature Nanotechnology,2014,9(8):577 − 587. doi: 10.1038/nnano.2014.157
    [2] ZHANG L, DONG J. High-rate tunable ultrasonic force regulated nanomachining lithography with an atomic force microscope[J] . Nanotechnology,2012,23(8):085303. doi: 10.1088/0957-4484/23/8/085303
    [3] ZHANG Y, TAN K K, HUANG S. Vision-Servo System for Automated Cell Injection[J] . IEEE Transactions on Industrial Electronics,2009,56(1):231 − 238. doi: 10.1109/TIE.2008.925771
    [4] RUSSELL R, HALL D. Manufacturing the future: Federal priorities for manufacturing research and development[R]. [S.l.]: Committee on Technology. National Science & Technology Council, 2008.
    [5] HUANG H B, SUN D, MILLS J K, et al. Robotic cell injection system with position and force control: Toward automatic batch biomanipulation[J] . IEEE Transactions on Robotics,2009,25(3):727 − 737. doi: 10.1109/TRO.2009.2017109
    [6] HUANG W Q, SUN M X. Design, analysis, and experiment on a novel stick-slip piezoelectric actuator with a lever mechanism[J] . Micromachines,2019,10(12):863. doi: 10.3390/mi10120863
    [7] JUUTI J, KORDÁS K, LONNAKKO R, et al. Mechanically amplified large displacement piezoelectric actuators[J] . Sensors and Actuators. A: Physical,2005,120(1):225 − 231. doi: 10.1016/j.sna.2004.11.016
    [8] 李鸿, 周云飞. 预测前馈补偿在0.1 um光刻机硅片台长行程电机控制中的应用[J] . 长沙电力学院学报(自然科学版),2003,18(3):19 − 22.
    [9] 李鸣鸣. 大行程纳米定位系统若干关键技术研究[M]. 上海: 上海大学出版社, 2011.
    [10] SHINNO H, HASHIZUME H. Nanometer positioning of a linear motor-driven ultraprecision aerostatic table system with electrorheological fluid dampers[J] . CIRP Annals-Manufacturing Technology,1999,48(1):289 − 292. doi: 10.1016/S0007-8506(07)63186-2
    [11] 卢礼华, 郭永丰, 大刀川博之, 等. 高增益PID控制器实现纳米定位[J] . 光学精密工程,2007,15(1):63. doi: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.01.011
    [12] 师佳楠, 夏娇, 李宇帅, 等. 基于 Matlab 的PID控制算法仿真[J] . 电子质量,2020(7):4 − 12, 16.
    [13] 王树青, 戴连奎, 于玲. 过程控制工程[M]. 2版. 北京: 化学工业出版社, 2008: 60−65.
    [14] 王飞. 运动控制系统自校正前馈控制器研究与设计[D]. 杭州: 浙江理工大学, 2019.
    [15] 刘豹, 唐万生. 现代控制理论[M]. 北京: 机械工业出版社, 2011: 2−3.
    [16] 郭阳宽, 王正林. 过程控制工程及仿真: 基于MATLAB/Simulink[M]. 北京: 电子工业出版, 2009.
  • 加载中
图(14) / 表(2)
计量
  • 文章访问数:  433
  • HTML全文浏览量:  324
  • PDF下载量:  327
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2021-05-08
  • 刊出日期:  2021-06-30

目录

    /

    返回文章
    返回