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精密定位中的激光干涉测量误差分析

程维明,  葛轶君

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程维明, 葛轶君. 精密定位中的激光干涉测量误差分析[J]. 上海工程技术大学学报, 2006, 20(4): 287-290. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2006.04.001
引用本文: 程维明, 葛轶君. 精密定位中的激光干涉测量误差分析[J]. 上海工程技术大学学报, 2006, 20(4): 287-290. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2006.04.001
shu
CHENG Weiming, GE Yijun. Error Analyses for Measuring of Laser Interferometer in Precision Positioning[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2006, 20(4): 287-290. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2006.04.001
Citation: CHENG Weiming, GE Yijun. Error Analyses for Measuring of Laser Interferometer in Precision Positioning[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2006, 20(4): 287-290. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2006.04.001
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精密定位中的激光干涉测量误差分析

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2006.04.001

  • 上海工程技术大学,机械工程学院,上海,201620

  • 上海大学,机电工程与自动化学院,上海,200072

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  • 中图分类号: TH74

Error Analyses for Measuring of Laser Interferometer in Precision Positioning

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出版历程
  • 刊出日期:  2006-12-30

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