3-D Topography Measurement by Moiré Fringe
-
摘要: 以微电子基板的三维形貌测量为背景,研究了莫尔条纹精细测量机械量的机理与方法.为微电子基板及其他信息产品(如电视机荫罩)提供非接触、快速和高精度的测量技术.
点击查看大图
计量
- 文章访问数: 204
- HTML全文浏览量: 66
- PDF下载量: 52
- 被引次数: 0
引用本文: | 裘建新, 檀亮, 钟平. 莫尔条纹三维精细测量方法的研究与应用[J]. 上海工程技术大学学报, 2007, 21(1): 1-6. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2007.01.001 |
Citation: | QIU Jianxin, TAN Liang, ZHONG Ping. 3-D Topography Measurement by Moiré Fringe[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2007, 21(1): 1-6. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2007.01.001 |