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气相沉积法的薄膜制备研究

陈晖,  周细应,  言智

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陈晖, 周细应, 言智. 气相沉积法的薄膜制备研究[J]. 上海工程技术大学学报, 2010, 24(2): 167-172. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2010.02.018
引用本文: 陈晖, 周细应, 言智. 气相沉积法的薄膜制备研究[J]. 上海工程技术大学学报, 2010, 24(2): 167-172. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2010.02.018
shu
CHEN Hui, ZHOU Xi-ying, YAN Zhi. Review of Thin Films Preparation Methods by Thermal Vapor Condensation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2010, 24(2): 167-172. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2010.02.018
Citation: CHEN Hui, ZHOU Xi-ying, YAN Zhi. Review of Thin Films Preparation Methods by Thermal Vapor Condensation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2010, 24(2): 167-172. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2010.02.018
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气相沉积法的薄膜制备研究

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2010.02.018

  • 上海工程技术大学,材料工程学院,上海,201600

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  • 中图分类号: TB43

Review of Thin Films Preparation Methods by Thermal Vapor Condensation

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  • 刊出日期:  2010-06-30

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