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薄膜材料的制备与表征方法研究进展

李明,  宓一鸣,  言智,  季鑫

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李明, 宓一鸣, 言智, 季鑫. 薄膜材料的制备与表征方法研究进展[J]. 上海工程技术大学学报, 2012, 26(2): 125-128,132. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.02.007
引用本文: 李明, 宓一鸣, 言智, 季鑫. 薄膜材料的制备与表征方法研究进展[J]. 上海工程技术大学学报, 2012, 26(2): 125-128,132. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.02.007
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LI Ming, MI Yi-ming, YAN Zhi, JI Xin. Research Progress of Preparation and Characterization of Thin Film Materials[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2012, 26(2): 125-128,132. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.02.007
Citation: LI Ming, MI Yi-ming, YAN Zhi, JI Xin. Research Progress of Preparation and Characterization of Thin Film Materials[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2012, 26(2): 125-128,132. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.02.007
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薄膜材料的制备与表征方法研究进展

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.02.007

  • 上海工程技术大学材料工程学院,上海,201620

  • 上海工程技术大学基础教学学院,上海,201620

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  • 中图分类号: TB43

Research Progress of Preparation and Characterization of Thin Film Materials

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  • 刊出日期:  2012-06-30

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