利用差动原理和采样补偿提高工作台精度

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利用差动原理和采样补偿提高工作台精度

王荣, 张敏良

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王荣, 张敏良. 利用差动原理和采样补偿提高工作台精度[J]. 上海工程技术大学学报, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

引用本文:

王荣, 张敏良. 利用差动原理和采样补偿提高工作台精度[J]. 上海工程技术大学学报, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

WANG Rong, ZHANG Minliang. Improvement of Precision for a Micro-Displacement Table Based on Differential Theory and Sampling Compensation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

Citation:

WANG Rong, ZHANG Minliang. Improvement of Precision for a Micro-Displacement Table Based on Differential Theory and Sampling Compensation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

王荣, 张敏良. 利用差动原理和采样补偿提高工作台精度[J]. 上海工程技术大学学报, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

引用本文:

王荣, 张敏良. 利用差动原理和采样补偿提高工作台精度[J]. 上海工程技术大学学报, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

WANG Rong, ZHANG Minliang. Improvement of Precision for a Micro-Displacement Table Based on Differential Theory and Sampling Compensation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

Citation:

WANG Rong, ZHANG Minliang. Improvement of Precision for a Micro-Displacement Table Based on Differential Theory and Sampling Compensation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2014, 28(4): 296-301. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

利用差动原理和采样补偿提高工作台精度

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2014.04.002

王荣,
张敏良

上海工程技术大学机械工程学院,上海,201620

中图分类号: TH703
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出版历程
- 刊出日期: 2014-12-30

Improvement of Precision for a Micro-Displacement Table Based on Differential Theory and Sampling Compensation

摘要: 针对精密定位工作台目前存在的高精度、大行程和低成本难以协调的问题,提出一种差动式结构的工作台,利用动态采样的方法对开环误差进行标定,建立误差模型,通过控制上下叠加的两个工作台差动对系统误差进行动态补偿.研究表明:利用差动原理对误差动态补偿的方法有效提高了工作台精度和系统灵敏度,为微位移机构的设计提供了新的思路和方法.
- 精密定位 /
- 差动原理 /
- 动态采样 /
- 误差建模 /
- 动态补偿

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