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不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制

刘烨,  周新玲

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刘烨, 周新玲. 不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制[J]. 上海工程技术大学学报, 2008, 22(2): 104-108. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2008.02.002
引用本文: 刘烨, 周新玲. 不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制[J]. 上海工程技术大学学报, 2008, 22(2): 104-108. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2008.02.002
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LIU Ye, ZHOU Xinling. Mechanism of Damage on Surface of Semiconductor Si Caused by Laser with Different Wavelengths[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2008, 22(2): 104-108. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2008.02.002
Citation: LIU Ye, ZHOU Xinling. Mechanism of Damage on Surface of Semiconductor Si Caused by Laser with Different Wavelengths[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2008, 22(2): 104-108. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2008.02.002
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不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2008.02.002

  • 上海工程技术大学基础教学学院,上海,201620

  • 山东师范大学物理与电子科学学院,济南,250014

详细信息

  • 中图分类号: O434.14

Mechanism of Damage on Surface of Semiconductor Si Caused by Laser with Different Wavelengths

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出版历程
  • 刊出日期:  2008-06-30

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