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温度对精密定位工作台的影响及其补偿

程维明 姜克壮 孙麟治

程维明, 姜克壮, 孙麟治. 温度对精密定位工作台的影响及其补偿[J]. 上海工程技术大学学报, 2011, 25(3): 191-194. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2011.03.001
引用本文: 程维明, 姜克壮, 孙麟治. 温度对精密定位工作台的影响及其补偿[J]. 上海工程技术大学学报, 2011, 25(3): 191-194. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2011.03.001
CHENG Wei-ming, JIANG Ke-zhuang, SUN Lin-zhi. Compensation of Temperature Effect on Precision Positioning Stage[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2011, 25(3): 191-194. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2011.03.001
Citation: CHENG Wei-ming, JIANG Ke-zhuang, SUN Lin-zhi. Compensation of Temperature Effect on Precision Positioning Stage[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2011, 25(3): 191-194. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2011.03.001

温度对精密定位工作台的影响及其补偿

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2011.03.001
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  • 中图分类号: TH16

Compensation of Temperature Effect on Precision Positioning Stage

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出版历程
  • 刊出日期:  2011-09-30

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