Compensation of Temperature Effect on Precision Positioning Stage
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摘要: 温度变化对于大行程、高精度精密定位平台的精度有较大的影响,为此,提出了一种基于定位工作台热膨胀模型的实时温度补偿方法.试验结果表明,该补偿方法可将因温度影响而产生的工作台漂移均方根值降低80%以上,并且方法简单可靠,易实现实时补偿,能有效提高定位工作台的实际精度.
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