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射频磁控溅射制备类金刚石薄膜

梁志敏,  翟建广,  张锋

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梁志敏, 翟建广, 张锋. 射频磁控溅射制备类金刚石薄膜[J]. 上海工程技术大学学报, 2013, 27(3): 244-247. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.03.012
引用本文: 梁志敏, 翟建广, 张锋. 射频磁控溅射制备类金刚石薄膜[J]. 上海工程技术大学学报, 2013, 27(3): 244-247. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.03.012
shu
LIANG Zhimin, ZHAI Jianguang, ZHANG Feng. Diamond-Like Carbon Deposited by RF Magnetron Sputtering[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2013, 27(3): 244-247. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.03.012
Citation: LIANG Zhimin, ZHAI Jianguang, ZHANG Feng. Diamond-Like Carbon Deposited by RF Magnetron Sputtering[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2013, 27(3): 244-247. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.03.012
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射频磁控溅射制备类金刚石薄膜

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.03.012

  • 上海工程技术大学材料工程学院,上海,201620

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  • 中图分类号: TB43

Diamond-Like Carbon Deposited by RF Magnetron Sputtering

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  • 刊出日期:  2013-09-30

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